Super low temperature doping of phosphorus to Poly-Si thin films using XeF excimer laser irradiation in phosphoric acid solution

Akira Suwa, Hiroshi Ikenoue, Hiroaki Oizumi, Daisuke Nakamura, Tatsuo Okada

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿会議への寄与

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Super low temperature doping of phosphorus to Poly-Si thin films using XeF excimer laser irradiation in phosphoric acid solution」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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