Super low-temperature formation of polycrystalline silicon films on plastic substrates by underwater laser annealing

Emi Machida, Masahiro Horita, Yasuaki Ishikawa, Yukiharu Uraoka, Tetsuo Okuyama, Hiroshi Ikenoue

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿会議への寄与

抄録

We succeeded in the super low-temperature crystallization to high-quality poly-Si films on plastic substrates by underwater laser annealing (WLA). WLA enhances the energy margin twice as high as that in laser annealing in air (LA). Moreover, the crystallinity of WLA poly-Si was much better than that of LA poly-Si.

本文言語英語
ホスト出版物のタイトルSociety for Information Display - 19th International Display Workshops 2012, IDW/AD 2012
ページ251-254
ページ数4
1
出版ステータス出版済み - 12月 1 2012
イベント19th International Display Workshops in Conjunction with Asia Display 2012, IDW/AD 2012 - Kyoto, 日本
継続期間: 12月 4 201212月 7 2012

その他

その他19th International Display Workshops in Conjunction with Asia Display 2012, IDW/AD 2012
国/地域日本
CityKyoto
Period12/4/1212/7/12

!!!All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • コンピュータ ビジョンおよびパターン認識
  • 人間とコンピュータの相互作用
  • 電子工学および電気工学
  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 放射線学、核医学およびイメージング

フィンガープリント

「Super low-temperature formation of polycrystalline silicon films on plastic substrates by underwater laser annealing」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

引用スタイル