Surface flattening of poly-Si thin films by laser annealing and electrical properties of LTPS-TFTs

Fuminobu Hamano, Akira Mizutani, Kaname Imokawa, Daisuke Nakamura, Tetsuya Goto, Hiroshi Ikenoue

研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

フィンガープリント 「Surface flattening of poly-Si thin films by laser annealing and electrical properties of LTPS-TFTs」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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