T1601-2-6 樹脂上金属薄膜への熱ナノインプリント加工(マイクロナノダイナミクスの計測と制御・マイクロナノメカトロニクス(2))

酒井 佑典, 津守 不二夫, 小寺 秀俊

研究成果: Contribution to journalArticle

抄録

The deforming of thin metal films on PET substrates is studied. Though only polymer substrates are deformed in conventional nanoimprint lithography studies, we pressed metal-polymer composite specimens which may be applied to micro electromagnetic or optical devices. 100 nm Al thin films were deposited on 50 μm PET substrates for specimens. The thin metal films on PET are pressed for loading time t=300, 900, 1800 s with a mold patterned lines. As a result, thin metal films are strained 1.7 % at most.
寄稿の翻訳タイトルT1601-2-6 Thermal nanoimprint lithography for thin metal films on PET substrates
本文言語Japanese
ページ(範囲)255-256
ページ数2
ジャーナル年次大会講演論文集
2009
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DOI
出版ステータス出版済み - 2009

フィンガープリント 「T1601-2-6 樹脂上金属薄膜への熱ナノインプリント加工(マイクロナノダイナミクスの計測と制御・マイクロナノメカトロニクス(2))」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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