Temperature dependence of dielectric constant of nanoparticle composite porous low-k films fabricated by pulse radio frequency discharge with amplitude modulation

Shinya Iwashita, Michihito Morita, Hidefumi Matsuzaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani

研究成果: Contribution to journalArticle査読

4 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Temperature dependence of dielectric constant of nanoparticle composite porous low-k films fabricated by pulse radio frequency discharge with amplitude modulation」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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