Theoretical study on the effect of H2and NH3on trimethylgallium decomposition process in GaN MOVPE

Soma Sakakibara, Kenta Chokawa, Masaaki Araidai, Akira Kusaba, Yoshihiro Kangawa, Kenji Shiraishi

研究成果: Contribution to journalArticle査読

フィンガープリント

「Theoretical study on the effect of H<sub>2</sub>and NH<sub>3</sub>on trimethylgallium decomposition process in GaN MOVPE」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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