Thin CoSi_2 Formation on SiO_2 with Low-Energy Ion Irradiation

Atsushi Matsushita, Taizoh Sadoh, Toshio Tsurushima

研究成果: Contribution to journalArticle査読

本文言語英語
ページ(範囲)6117-6122
ページ数6
ジャーナルJapanese Journal of Applied Physics, Part 2: Letters
37
11
出版ステータス出版済み - 11 15 1998

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