抄録
The electron-velocity distribution function of the discharge plasma in a rare gas halide excimer laser was diagnosed by the Thomson scattering method. The measured electron-velocity distribution function shows that the predicted value by the calculation is accurate. Those results assure that the calculation method which is based on the kinetic calculation using the circuit equations, the Boltzmann equation and the rate equations is effective in the excimer laser simulation.
本文言語 | 英語 |
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ページ(範囲) | 119-122 |
ページ数 | 4 |
ジャーナル | Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering |
巻 | 1397 |
号 | pt 1 |
出版ステータス | 出版済み - 1月 1 1991 |
外部発表 | はい |
イベント | 8th International Symposium on Gas Flow and Chemical Lasers Part 1 (of 2) - Madrid, Spain 継続期間: 9月 10 1990 → 9月 14 1990 |
!!!All Science Journal Classification (ASJC) codes
- 電子材料、光学材料、および磁性材料
- 凝縮系物理学
- コンピュータ サイエンスの応用
- 応用数学
- 電子工学および電気工学