Thomson scattering diagnostics of discharge plasmas in an excimer laser

H. Yamakoshi, M. Kato, Y. Kubo, H. Enokizono, K. Uchino, K. Muraoka, A. Takahashi, M. Maeda

研究成果: ジャーナルへの寄稿会議記事査読

抄録

The electron-velocity distribution function of the discharge plasma in a rare gas halide excimer laser was diagnosed by the Thomson scattering method. The measured electron-velocity distribution function shows that the predicted value by the calculation is accurate. Those results assure that the calculation method which is based on the kinetic calculation using the circuit equations, the Boltzmann equation and the rate equations is effective in the excimer laser simulation.

本文言語英語
ページ(範囲)119-122
ページ数4
ジャーナルProceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
1397
pt 1
出版ステータス出版済み - 1月 1 1991
外部発表はい
イベント8th International Symposium on Gas Flow and Chemical Lasers Part 1 (of 2) - Madrid, Spain
継続期間: 9月 10 19909月 14 1990

!!!All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 凝縮系物理学
  • コンピュータ サイエンスの応用
  • 応用数学
  • 電子工学および電気工学

フィンガープリント

「Thomson scattering diagnostics of discharge plasmas in an excimer laser」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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