Treatment of a perfluorocarbon using nonthermal plasma produced by atmospheric streamer corona discharge

Nobuya Hayashi, Saburoh Satoh

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5 被引用数 (Scopus)

抄録

A nonthermal plasma produced by streamer corona discharge at atmospheric pressure was investigated for the treatment of perfluorocarbon gas. The effectiveness of fluorocarbon treatment was investigated using mixture gases of Ar or N with CF4. A maximum decomposition rate of 86% and a maximum energy efficiency of 0.6 g/kWh were achieved using the mixture gas of CF4 (1%) and Ar (99%).

本文言語英語
ページ(範囲)274-275
ページ数2
ジャーナルIEEE Transactions on Plasma Science
33
2 I
DOI
出版ステータス出版済み - 4 1 2005
外部発表はい

All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • 核物理学および高エネルギー物理学
  • 凝縮系物理学

フィンガープリント

「Treatment of a perfluorocarbon using nonthermal plasma produced by atmospheric streamer corona discharge」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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