Weakly copper-fullerenol layer on chemical mechanical polishing using water soluble fullerenol

Hirotaka Kishida, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Ken Kokubo

研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

2 被引用数 (Scopus)
本文言語英語
ホスト出版物のタイトルProceedings - ASPE 2010 Annual Meeting
ページ293-296
ページ数4
50
出版ステータス出版済み - 2010
外部発表はい
イベント25th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering, ASPE 2010 - Atlanta, GA, 米国
継続期間: 10 31 201011 4 2010

その他

その他25th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering, ASPE 2010
国/地域米国
CityAtlanta, GA
Period10/31/1011/4/10

All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • 工学(その他)

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