X-ray evaluation of high-verticality sidewalls fabricated by deep reactive ion etching

Kazuma Takeuchi, Yuichiro Ezoe, Kumi Ishikawa, Kasumi Nakamura, Masaki Numazawa, Masaru Terada, Maiko Fujitani, Daiki Ishi, Yusuke Noda, Takaya Ohashi, Kohei Morishita, Kazuo Nakajima, Kazuhisa Mitsuda

研究成果: Contribution to journalArticle査読

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フィンガープリント

「X-ray evaluation of high-verticality sidewalls fabricated by deep reactive ion etching」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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